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扩散硅压力传感器

型 号

所属分类扩散硅传感器

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发布时间2019-01-31

产品描述:扩散硅压力传感器是一种可以用于钢铁、化工等领域对压力进行测量,与压力调节仪配套使用可实现压力自动控制。

产品概述

       扩散硅压力传感器澳门AG视讯娱乐平台是一种可以用于钢铁、化工等领域对压力进行测量,与压力调节仪配套使用可实现压力自动控制。

原理
   扩散硅压力传感器是利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,构成惠斯凳电桥。利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。
澳门AG视讯娱乐平台    扩散硅传感器的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。

特点
1、适合制作小量程的传感器
硅芯片的这种力敏电阻的压阻效应在零点附近的低量程段无死区,制作压力传感器的量程可小到几个Kpa。
2、输出灵敏度高
硅应变电阻的灵敏因子比金属应变计高50~100倍,故相应的传感器的灵敏度就很高,一般量程输出为100mv左右。因此对接口电路无特殊要求,使用比较方便。
3、精度高
由于传感器的感受、敏感转换和检测三部分由同一个元件实现,没有中间转换环节,重复性和迟滞误差较小。由于单晶硅本身刚度很大,变形很小,保证了良好的线性。
4、由于工作单性形变低至微应变数量级,弹性芯片最大位移在亚微米数量级,因而无磨损,无疲劳,无老化,寿命长达1×103压力循环,性能稳定,可靠性高。
5、由于硅的优良化学防腐性能,即使是非隔离型的压力传感器,也有相当程度的适应各种介质的能力。
澳门AG视讯娱乐平台6、由于芯片采用集成工艺,又无传动部件,因此体积小,重量轻。

性能参数
测量介质:与316L不锈钢兼容的各种液体、气体或蒸汽量程范围:-100 kPa~0~2kPa…60MPa
压力方式:表压、绝压、密封压
恒压供电:推荐10VDC,最大15VDC
恒流供电:推荐1.5mA,最大4mA
桥路电阻:4000Ω(典型值)
综合精度:0.1%FS,0.3%FS,0.5%FS可选
温度漂移:0.02%FS/℃
时间漂移:≤0.2%FS/年
补偿温度:0~80℃
介质温度:-40~125℃
环境温度:-40~85℃。

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